摘要：涂膠顯影設備（Track）是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、顯影及烘烤設備。近幾年，國內涂膠顯影設備生產企業在技術上取得進展，成功在下游客戶端占據一席之地，涂膠顯影設備產值快速增長，2024年我國涂膠顯影設備行業產值增長到18.26億元。作為光刻機的“重要搭檔”，涂膠顯影設備廣泛應用于集成電路、OLED、LED、化合物半導體&功率器件等先進制造領域。2024年我國涂膠顯影設備市場需求量增長到1775臺套，市場規模增長到125.9億元。隨著下游電子、汽車、通信等行業需求的穩步增長，以及人工智能、云計算及大數據等新興領域的快速發展，集成電路產業面臨著新型芯片帶來的產能擴張需求，為涂膠顯影設備行業帶來廣闊的市場空間。

一、定義及分類

涂膠顯影設備（Track）是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、顯影及烘烤設備，包括涂膠機（又稱涂布機、勻膠機）、噴膠機（適用于不規則表面晶圓的光刻膠涂覆）和顯影機。按設備類型可以分為涂膠機、噴膠機、顯影機；按應用環節可以分為前道設備、后道設備；按技術節點可以分為KrF及以下節點類、ArF類、其他先進節點類。

二、行業政策

1、主管部門及監管體制

涂膠顯影設備行業的政府主管部門為工信部和科技部，行業自律性組織為中國半導體行業協會和中國電子專用設備工業協會。工信部、科技部和行業協會構成了半導體設備行業的管理體系，各企業在主管部門產業宏觀調控、行業協會自律規范的約束下，面向市場自主經營，自主承擔市場風險。

2、相關政策

（1）國家層面相關政策

為推動半導體及相關產業發展，增強產業創新能力和國際競爭力，帶動傳統產業改造和產品升級換代，進一步促進國民經濟持續、快速、健康發展，我國政府先后出臺《電子信息制造業2023—2024年穩增長行動方案》《關于推動技能強企工作的指導意見》等鼓勵和支持半導體設備產業發展的政策，為我國涂膠顯影設備行業發展營造了良好的政策環境。

（2）地方層面相關政策

為了響應國家號召，各省市積極推動涂膠顯影等半導體設備行業的發展，如2024年2月陜西省發布的《關于支持企業開拓國際市場的實施意見》提出加強對半導體產業龍頭企業跟蹤幫扶，實施好太陽能光伏產業國家外經貿提質增效示范項目，支持出口支柱產業企穩回升。

三、行業壁壘

涂膠顯影是半導體器件生產過程中不可或缺的一項關鍵工藝，是半導體產業鏈的上游核心環節。作為半導體制造（前道）和先進封裝（后道）的核心設備之一，光刻涂膠顯影機涉及電子、機械、化工、材料、信息等學科領域，屬于典型的高、精、尖高端裝備，行業具有較高的技術壁壘、資金壁壘和客戶壁壘，在一定程度上限制了新企業進入該市場。

四、產業鏈

1、行業產業鏈分析

涂膠顯影設備行業是半導體產業鏈中的一個重要環節，其上下游產業的發展狀況對涂膠顯影設備行業具有重要影響。涂膠顯影設備行業產業鏈上游包括傳感器、有色金屬、電子元件、過濾器、儀器儀表等原材料和零部件，這些原材料和零部件的質量和供應穩定性直接影響到涂膠顯影設備的性能和可靠性。行業中游為涂膠顯影設備生產制造，以美國應用材料、荷蘭阿斯麥、美國泛林集團、日本東京電子、美國科天等為代表的國際知名企業占據了全球半導體設備市場的主要份額。行業下游主要應用于半導體領域，既用于半導體晶圓制造（光刻環節），也用于半導體封測（涂膠、顯影環節）、OLED制造（光刻環節）。半導體廠商是涂膠顯影設備的主要用戶，其生產需求和技術要求直接決定了涂膠顯影設備的市場規模和技術發展方向。

涂膠顯影設備行業產業鏈

傳感器

華工科技產業股份有限公司

浙江大立科技股份有限公司

歌爾股份有限公司

漢威科技集團股份有限公司

華潤微電子有限公司

上海韋爾半導體股份有限公司

格科微電子(上海)有限公司

中航電測儀器股份有限公司

有色金屬

紫金礦業集團股份有限公司

西部礦業集團有限公司

云南銅業股份有限公司

江西銅業集團有限公司

銅陵有色金屬集團股份有限公司

北方銅業股份有限公司

中國大冶有色金屬礦業有限公司

電子元件

立訊精密工業股份有限公司

紫光國芯微電子股份有限公司

臺灣積體電路制造股份有限公司

華東科技股份有限公司

成都華微電子科技有限公司

過濾器

泊頭石亨除塵設備有限公司

桐鄉市朗裕凈化科技股份有限公司

蘇州科利艾爾過濾器材有限公司

深圳市恒豐濾業有限公司

上游

沈陽芯源微電子設備股份有限公司

盛美半導體設備（上海）股份有限公司

蘇州桔云科技有限公司

邁睿捷（南京）半導體科技有限公司

中游

半導體晶圓制造（光刻環節）

半導體封測（涂膠

顯影環節）

OLED制造（光刻環節）

下游

2、行業領先企業分析

芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品主要包括光刻工序涂膠顯影設備、單片式濕法設備。芯源微是國內涂膠顯影、單片式濕法設備龍頭企業，近年來持續加大研發投入，推出了前道單片式化學清洗設備、臨時鍵合解鍵合設備、SiC劃裂片設備等多款新產品，目前芯源微電子已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸沒式等多種型號涂膠顯影設備，已形成了前道涂膠顯影設備、前道清洗設備、后道先進封裝設備、化合物等小尺寸設備四大業務板塊，產品已完整覆蓋前道晶圓加工、后道先進封裝、化合物半導體等多個領域。據企業公告數據顯示，2023年，芯源微半導體設備實現業務收入16.79億元，毛利率41.84%；2024年上半年，芯源微半導體設備實現業務收入6.72億元，毛利率39.38%。

五、行業現狀

近幾年，國內涂膠顯影設備生產企業在技術上取得進展，成功在下游客戶端占據一席之地，涂膠顯影設備產值快速增長，2024年我國涂膠顯影設備行業產值增長到18.26億元。作為光刻機的“重要搭檔”，涂膠顯影設備廣泛應用于集成電路、OLED、LED、化合物半導體&功率器件等先進制造領域。2024年我國涂膠顯影設備市場需求量增長到1775臺套，市場規模增長到125.9億元。隨著下游電子、汽車、通信等行業需求的穩步增長，以及人工智能、云計算及大數據等新興領域的快速發展，集成電路產業面臨著新型芯片帶來的產能擴張需求，為涂膠顯影設備行業帶來廣闊的市場空間。

六、發展因素

1、有利因素

涂膠顯影設備是半導體制造（前道）和先進封裝（后道）的關鍵設備，行業發展受市場需求、半導體產業擴張、國產替代、政策支持等多重因素的影響。

2、不利因素

涂膠顯影設備行業雖然受益于半導體產業擴張和國產替代趨勢，但也面臨融資環境不成熟、高端技術人才相對缺乏、產業環境有待進一步改善、國外出口限制等因素的影響。

七、競爭格局

中國涂膠顯影設備廠商起步相對較晚，技術積累不足，涂膠顯影設備行業長期被國際企業壟斷，以東京電子為代表的國際企業憑借其成熟的技術、豐富的產品線和廣泛的客戶資源，占據了國內85%以上的市場份額，而國產廠商的市場占比僅為14.24%。在國產替代政策的推動以及下游晶圓廠擴產需求的刺激下，國內企業如芯源微等，通過多年的研發和積累，已掌握了相關核心技術，擁有自主知識產權，具備一定品牌知名度，逐步在市場中嶄露頭角，奠定了一定的市場地位。但仍遠落后于美國、日本等制造強國。

八、發展趨勢

涂膠顯影設備作為半導體制造工藝中的關鍵設備，其市場需求隨著半導體產業的蓬勃發展而持續增長。隨著國內涂膠顯影設備行業技術不斷進步，各類技術等級設備并存發展，涂膠顯影設備產品質量和市場份額方面取得了顯著進展，國產替代步伐的加快，國內企業有望打破國外廠商的壟斷地位，市場份額的逐步擴大。半導體技術的不斷進步，半導體器件集成度不斷提高，促使涂膠顯影設備行業向高精度化與高集成化方向發展。