靶材

趨勢研判！2024年中國靶材行業政策、市場規模、細分市場及企業分析：半導體市場需求恢復，為靶材市場發展帶來巨大推動力[圖]

靶材，也稱為濺射靶材，是高速荷能粒子轟擊的目標材料。通過不同的激光（離子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，實現導電和阻擋的功能。靶材由“靶坯”和“背板”組成，靶坯是由高純金屬制作而來，是高速離子束流轟擊的目標；背板通過焊接工藝和靶坯連接，起到固定靶坯的作用，并且背板需要具備導熱導電性。