2025-2031年中國MOCVD設備行業市場發展規模及投資機會分析報告

為了深入解讀MOCVD設備行業發展現狀以及研判未來走向，智研咨詢精心編撰并推出了《2025-2031年中國MOCVD設備行業市場發展規模及投資機會分析報告》（以下簡稱《報告》）。這份報告不僅是對中國MOCVD設備市場的一次全面而細致的梳理，更是智研咨詢多年來持續追蹤、實地踏訪、深入研究與精準分析的結晶。它旨在幫助行業精英和投資者們更加精準地把握市場脈搏，洞察行業趨勢，為未來的決策提供有力支持。

《報告》主要研究中國MOCVD設備產業發展情況，涉及MOCVD設備保有量、出貨量、市場規模、國產化率、市場集中度等細分數據。

《報告》從國內外經濟環境、國內政策、發展趨勢等方面入手，全方位分析了MOCVD設備產業發展狀況，對業界廠商掌握產業動態與未來創新趨勢提供相應的建議和決策支持。

MOCVD（Metal-organicChemicalVaporDeposition）金屬有機化合物化學氣相沉淀，是在氣相外延生長（VPE）的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。通常MOCVD系統中的晶體生長都是在常壓或低壓（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不銹鋼）反應室中進行，襯底溫度為500-1200℃，用直流加熱石墨基座（襯底基片在石墨基座上方），H2通過溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機物到生長區。

近年來，LED以其節能及環境友好等特性被廣泛運用于各類照明領域。作為LED產品關鍵部件，采用金屬有機氣相沉積(MOCVD)生產外延片過程產生大量的生產廢料。該廢料中含有發光材料所必需的元素鎵和銦，其中鎵通常以GaAs、GaN和InGaN的形式存在于芯片中。鎵和銦對電子工業至關重要，從工業應用中銦被歸類為重要關鍵礦產資源，到供應鏈稀缺性的潛在角度鎵和銦被歸為戰略金屬。其獨特的性能和有限的資源是其他材料及金屬所無法替代的。日益增長的消費需求以及對鎵和銦的大量需求的潛力，引發了全球競爭。隨著LED行業的快速發展，綠色、清潔回收MOCVD生產廢料備受關注。MOCVD設備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長。據統計2024年全球MOCVD設備保有量為5150臺，出貨量為411臺，市場規模為6.86億美元；預計2025年，全球MOCVD設備保有量為5650臺，出貨量為442臺，市場規模為7.09億美元。

在我國，回收MOCVD生產廢料中的有價金屬對保障我國戰略金屬供給安全具有重大意義。我國LED產業開始于上世紀60年代末，經過30多年的積累，我國已經形成包括LED外延片的生產、LED芯片的制備、LED芯片的封裝以及LED產品應用在內的較為完整的產業鏈。其中氮化鎵基LEDMOCVD主要用于生產氮化鎵基LED的外延片。目前氮化鎵基MOCVD設備約占全部MOCVD市場份額的80%左右。目前中國是全球最大的MOCVD設備需求市場。據統計，2024年，我國MOCVD設備保有量約3142臺，出貨量約310臺，市場規模約28.06億元；預計2025年，我國MOCVD設備保有量將達3352臺，出貨量將達315臺，市場規模將達28.35億元。隨著MOCVD設備在綠光LED、紅光LED、深紫外LED，以及MiniLED、MicroLED、功率器件等諸多新興領域的逐步應用，MOCVD設備的市場規模將進一步擴大，市場前景廣闊。

LED產業鏈由襯底加工、LED外延片生產、芯片制造和器件封裝組成。該產業鏈中主要涉及的設備包括：襯底加工需要的單晶爐、多線切割機；制造外延片需要的MOCVD設備；制造芯片需要的光刻、刻蝕、清洗、檢測設備；封裝需要的貼片機、固晶機、焊線臺和灌膠機等。LED外延片的制備是LED芯片生產的重要步驟，與集成電路在多種核心設備間循環的制造工藝不同，主要通過MOCVD單種設備實現。因此，MOCVD設備是LED芯片生產和功率器件制造過程中的關鍵設備。

MOCVD設備行業呈現高度壟斷的競爭格局。長久以來MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積)設備作為半導體照明產業鏈上游的關鍵制造設備，卻一直被國外維易科、愛思強兩家公司所壟斷，產業的健康和良性發展受到嚴重制約。2013年，中國MOCVD設備在國產化方面又向前邁進了一大步，在市場推廣方面取得了階段性的成果，包括中晟光電在內的若干家公司所研制的MOCVD設備先后得到了各自用戶的認可和驗證。

隨著中國LED產能在全球的占比不斷提高，并且在新興產品領域布局速度也在不斷加快。隨著中國半導體照明市場規模迅速成長的情況下，作為行業上游關鍵制造設備的MOCVD，國產化MOCVD設備在市場推廣方面取得了階段性的成果。中微公司是中國半導體設備企業中極少數能與全球頂尖設備公司直接競爭并不斷擴大市場占有率的公司，是國際半導體設備產業界公認的后起之秀。

中微公司是我國半導體設備行業中的領先企業，主營產品等離子體刻蝕設備和薄膜設備作為光刻機之外的核心微觀加工設備，其制程步驟復雜度與工藝開發難度均在業內處于突出地位。中微公司自2017年起已經成為氮化鎵基LED市場份額最大的MOCVD設備供應商，在Micro-LED和高端顯示領域的MOCVD設備開發及客戶驗證上取得了良好進展，并正在開發用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應用的相關設備。

2024年，中微公司用于藍光照明的PRISMOA7、用于深紫外LED的PRISMOHiT3、用于Mini-LED顯示的PRISMOUniMax等產品持續服務客戶，持續保持國際氮化鎵基MOCVD設備市場領先地位。其中PRISMOUniMax產品自2021年6月正式發布以來，憑借其高產量、高波長均勻性、高良率等優點，受到下游客戶的廣泛認可，在Mini-LED顯示外延片生產設備領域處于國際領先。在2022年推出的用于氮化鎵功率器件生產應用的MOCVD設備PRISMOPD5，目前已交付客戶進行生產驗證，并取得了重復訂單。除此之外，中微公司正在開發新一代氮化鎵功率器件應用的MOCVD設備，將進一步提升設備性能，降低客戶生產成本，持續提升公司在氮化鎵基MOCVD設備領域的競爭力，預計2025年將付運至客戶進行驗證。據企業公告數據顯示，2024年，中微公司半導體設備營業收入90.65億元，營業成本53.43億元，毛利率41.06%。

智研咨詢研究團隊圍繞中國MOCVD設備產業規模、產業結構、重點企業情況、產業發展趨勢等方面進行深入分析，并針對MOCVD設備產業發展中存在的問題提出建議，為各地政府、產業鏈關聯企業、投資機構提供參考。

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