一、概述
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
真空泵分類
資料來源：智研咨詢整理
智研咨詢發布的《2021-2027年中國真空泵行業競爭格局分析及發展趨勢預測報告》數據顯示：真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
真空泵應用情況
液環泵 | 雖然液環泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，由于液環泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產液環泵在價格上有競爭優勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。 |
滑閥泵 | 由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。 |
直聯旋片泵 | 隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。 |
羅茨泵 | 國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。 |
分子泵 | 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。 |
干泵 | 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。 |
水環泵 | 水環真空泵（簡稱水環泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機，稱為水環式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發展，水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環泵應用日益增多。 |
資料來源：智研咨詢整理
二、產量
從2010-2020年8月中國真空泵月度產量統計圖可以看出，2010年3月開始中國真空泵產量開始快速增長，2015年2月開始趨于平穩，之后呈下滑趨勢，2020年4月開始有所回升。2019年12月中國真空泵產量為18萬臺，較2018年同期減少了63.2萬臺；2020年8月中國真空泵產量為35.8萬臺，較2019年同期增加了17.49萬臺。
2010-2020年8月中國真空泵月度產量統計
注：2015和2016年數據未公布，無法提供。
資料來源：中國機械工業聯合會、智研咨詢整理
三、進出口貿易
中國真空泵出口數量明顯大于進口數據，2016-2018年中國真空泵出口數量逐年增加，2018年中國真空泵出口數量為1002.4萬臺，同比增長30.2%，2019年有所下滑，2019年中國真空泵出口數量為975.9萬臺，同比減少2.7%。
2014-2019年中國真空泵出口數量統計
資料來源：中國海關、智研咨詢整理
2014-2017年中國真空泵進口數量逐年增加，2018年短暫下滑后2019年又開始增長，2019年中國真空泵進口數量為246.8萬臺，同比增長3.8%。
2014-2019年中國真空泵進口數量統計
資料來源：中國海關、智研咨詢整理
中國真空泵出口金額持續增長，2018年中國真空泵出口金額為30767.6萬美元，同比增長31.9%；2019年中國真空泵出口金額為32712.1萬美元，同比增長6.3%。
2014-2019年中國真空泵出口金額統計
資料來源：中國海關、智研咨詢整理
2016-2018年中國真空泵進口金額逐年增加，2018年中國真空泵進口金額為104222.6萬美元，同比增長44.5%，2019年有所下滑，2019年中國真空泵進口金額為86678.9萬美元，同比減少16.8%。
2014-2019年中國真空泵進口金額統計
資料來源：中國海關、智研咨詢整理
智研咨詢 - 精品報告
2024-2030年中國水噴射真空泵行業市場供需態勢及發展前景研判報告
《2024-2030年中國水噴射真空泵行業市場供需態勢及發展前景研判報告》共十四章，包含2024-2030年水噴射真空泵行業投資機會與風險，水噴射真空泵行業投資戰略研究，研究結論及投資建議等內容。
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